გარდამავალ მეტალთა ოქსიდების მიღება დაბალტემპერატურული მეთოდით და მათი პარამეტრების კვლევა

ავტორი: ლადო ჯიბუტი
საკვანძო სიტყვები: ოქსიდები, სილიციუმი, პლაზმური ანოდირება
ანოტაცია:

წინამდებარე ნაშრომში მოცემულია გარდამავალ მეტალთა ოქსიდების მიღების დაბალტეპერატურული ტექნოლოგია და მიღებული სტრუქტურების ზოგიერთი ელექტროფიზიკური და ოპტიკური პარამეტრები. დაბალტემპერატურული ტექნოლოგია დაფუძნებულია სტიმულირებულ პლაზმურ ანოდირებაზე, რომელის სტიმულაციაც ხორციელდება ანოდირების პროცესში ნიმუშის ულტრაიისფერი სინათლით დასხივებით. განხილულია ტექნოლოგიური პროცესების დამახასიათებელი პირობები, რომლის დროსაც შეირჩა ოპტიმალური ტექნოლოგიური მარშრუტი. ცალ-ცალკე განხილულია ჰაფნიუმის (HfO2), ტიტანის (TiO2) და ცირკონის (ZrO2) დიოქსიდების სტრუქტურული მახასიათებლები, როგორც საინტერესო მასალები ნანოხელსაწყოების მისაღებად. მიღებულ სტრუქტურაზე გაიზომა ფოლტ-ფარადული მახასიათებლები, სისქეები, ზედაპირული ხორკლიანობა, ოპტიკური გაშვების სპექტრები და ჩატარდა რენტგენოსტრუქტურული ანალიზი.